
∵ 工作及测量原理 简要说明:
特定的背光源模组点亮后,光线经过均光板等处理,透过处于被测光学系统焦点附近的分划板之十字靶标窄缝,模拟逆光路(逆投解)成像原理,由多组高帧率工业相机接收各视场点位的十字靶标影像,依据不同线缝宽度及指定的空间频率,由软体分析光学系统的成像品质。高精度Z轴系统带动分划板相对被测物模拟调焦动作,完成 Though Focus 的全域扫描,结合光学畸变、衍射原理、干涉原理等,分析各靶标(9或13路) S和T方向的MTF,除此之外,可以同时量测像平面倾斜值,后焦值,特定操作可量测被测物之安装平行度。